“这些p技术也要交给我们俩弄吗”
今天得到信息量太大了。两个年轻人很有👏🇵🜶种目不暇接的感觉。
多重图案技术,一听就明白,也就敢照亮👏🇵🜶照亮。但是p技术,涉及的就是就🁽是真刀真枪了。
机械研磨,研磨液怎么办,研磨速度,机加工精度,这里面就没有一个🌍♟是简单的。
他们两个与成永兴多少面临同样的问题,那就是毕☂☉竟学习时间太短,基础知🁽识不牢靠。
“这🄃几个技术,我会🜀交给其他人进行研发。”
这个p技术,也很重要,但它就没🝗有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比,谁先采用😏了。早采用,🐬🂸早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是为什么这🜌个技术,被叫做真1微米👏🇵🜶的原因。
p技术摆在🄀前台做幌子,多🈧重图案技术藏在后面。
“是要交給赵主任他们吗”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路🜌工艺上面,这两年也做出了些成果☂☉,但毕竟底蕴不足。🌍♟
另外,👪术业有专攻。🜀只🍷靠一个专业的十几个人,去包打天下,根本就不现实。
赵主任领着一群弟子,🍷已经在集成电路设计方面,狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术,很多都是系统性的。它甚至不是靠⚹一两台设备,一两个设备厂家能搞定的。
引入第三方力量,就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作🇾用🚉,主要还是幌子🙿🐋。
“我们现在干什么”
“第一步还是先来验证概念,另外要试验一🖛📐下⚹,看ee和sap这两条路,哪一条更容易实现,难度最🏸🞴😓低。”
多重图案🖾😒🀷技术法,有两条实现路线。一条是ee,另😴🅥🈧一条是sap
ee是将设计版图分解成两套独立的🍤低密度图形,通过两次单独曝光和两次单独刻蚀,然后叠加在🜠🃧🚍一起,形成更精细⛮🝲的图案。
sap是通过一次光刻形成核心图形,🚄然后通过沉积deposition在核心图案两侧形成侧墙sid🞠ewa,最后通过刻蚀和修剪曝光来实现所要的图形。
“这两条路,是你提出来的🈧,🇾你自己不知道”
严亮觉得这个事情有点奇怪。